膜厚算出方法

（図1）のような屈折率n2の基板上に厚みd、屈折率n1の膜があると仮定する。
この膜に、空気中（屈折率n0=1）から光が入射する事を考える。
光は膜表面で反射する成分と、膜内を通過し基板表面にて反射する成分があり、そのうち更に、膜外に出て行く成分が考えられる。これが光の反射光としてとらえられる。
光が波動である事から、これらの反射成分はお互いに干渉しあう事となる。
入射光が基板に垂直に入射する事を考えると、この干渉は絶対膜厚nと厚みdを掛け合わせた光学膜厚ndと波長に依存して弱めあい、また強めあう事になる。
以下の（図2）の例は、屈折率n=1.7、膜厚２μｍの膜が屈折率n=1.5の基板の上に存在する場合の、光干渉の波長依存性の理論計算値である。

以上のように、波長に依存して光の干渉が確認出来る。
この干渉光の極大値と極小値は交互に発生するため、λ（2m）、λ（2m＋1）と表現する。
この時、、と表現される。
これらから次数mを消去して、となり、光学膜厚（nd）は干渉の極大、極小より導かれる事がわかる。ここで屈折率nが判明している場合は絶対膜厚nが求められる。
「Handy Lambda Ⅲ Thickness」と「Solid Lambda Thickness」では、この極大・極小を精度良く求める事を行っている。