インライン膜厚透過率分光測定装置 Emprunner BTR-11
フィルムに塗布された膜の厚みをハロゲン光の光干渉方式で測定します。透過率測定も同時に行い、膜厚データの自動管理・異常値の外部信号出力出来ます。
制御盤との距離・オペレータの操作部も数十メートル離す事が出来るフィルム製造ライン用分光検査装置は、エリアセンサー・エンコーダーも同時に制御し、分光測定概念を超えた新たなフィルム検査を実現致します。
制御盤との距離・オペレータの操作部も数十メートル離す事が出来るフィルム製造ライン用分光検査装置は、エリアセンサー・エンコーダーも同時に制御し、分光測定概念を超えた新たなフィルム検査を実現致します。
インライン膜厚透過率分光測定装置の概要
各種フィルムの厚み及びコート膜の管理は生産現場を始めに急激に需要として伸びています。
透過率による透明度の管理や色度を用いて色目の管理も同様に関心を集めている検査項目です。
そのような光の測定を高速で稼働しているインラインプロセス工程の中に取り入れた分光装置が「Emprunner BTR-11」、各制御信号対応に対応し安全対策も施された新しい概念のインライン分光検査装置です。
フィルム幅サイズやスピードによる測定制限も受けず、内臓分光部はCarl Zeiss製分光器を採用し、測定膜厚再現性や透過率精度は、インライン検査レベルで非常に高い水準を達成しています。
透過率による透明度の管理や色度を用いて色目の管理も同様に関心を集めている検査項目です。
そのような光の測定を高速で稼働しているインラインプロセス工程の中に取り入れた分光装置が「Emprunner BTR-11」、各制御信号対応に対応し安全対策も施された新しい概念のインライン分光検査装置です。
フィルム幅サイズやスピードによる測定制限も受けず、内臓分光部はCarl Zeiss製分光器を採用し、測定膜厚再現性や透過率精度は、インライン検査レベルで非常に高い水準を達成しています。
測定可能サンプル例
- シリコンや酸化シリコン、窒化シリコン
- ガリウム砒素
- 酸化チタン
- フォトレジスト
- 色素膜、油膜やカラーフィルター膜
- フィルム
- コーティング剤と接着剤
- UV硬化樹脂
- 金属酸化膜、誘電体膜
- ポリマー
- 空気層
- CD、MD、DVD
膜厚透過率測定イメージ図
製品仕様
モデル | Emprunner BTR-11 |
---|---|
測定波長範囲 | 400nm-900nm |
対象膜厚範囲 | 1μm-100μm |
膜厚再現性精度 | 0.1μm以下 |
透過率再現性精度 | ±0.1%以下 |
吸光度データ範囲 | 0-3ABS |
アクチュエータ | 1.8mストローク長・走査速度:300mm/秒以上・位置分解能:0.2mm 以下 |
エリアセンサー | 光軸ピッチ:9mm・光軸数:26 |
ロータリーエンコーダ | 256パルス/回転 |
カウンタ表示 | -99999から999999まで |